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DMD数字掩模光刻机 LTG-DMD
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所属分类
DMD数字掩模光刻机
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产品描述
LTG-DMD数字掩模光刻机无需制造掩模板，采用DMD数字芯片掩模可在样品表面曝光通过计算机编辑的任意图案。结合精密的电控位移台，可以实现自动调平、自动对焦、多图拼接等功能。
主要特点 | 应用领域 |
● 无需样本制备 | ● 中小规模集成电路 |
● 非接触式测量 | ● 光电子器件 |
● 实时检测、无需等待 | ● 液晶微纳光学 |
● 多元素分析 | ● 偏振防伪 |
● 定制开发 | ● 半导体元器件 |
技术规格书
曝光光源 | 405nm or 365nm LED |
曝光不均匀性 | <5% |
最大样品尺寸 | 20x20mm |
单幅曝光尺寸 | 0.095英寸（10X镜头） |
最小分辨率 | 2um（10X镜头） |
镜头倍率 | 2X、5X、10X |
自动对焦精度 | 1um |
自动调平精度 | 10' |
可选功能 | 偏振态控制 |
偏振对比度 | >10000:1 |
线偏方向角精度 | 0.2° |
外观尺寸 | 800x550x680mm |
联系方式：025-68037576 15366004857
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